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芯明天電容傳感式壓電定位臺XY軸二維XY，三維XYZ電容傳感式壓電納米定位臺，采用一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計，多軸運動無耦合。多種位移行程可供選擇。可應(yīng)用于高精密光學(xué)測量、生物科技、原子力顯微鏡等應(yīng)用領(lǐng)域。《查看更多》