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產品名稱:E01.Cap 電容式測微儀

產品型號:

產品報價:

產品特點:E01.Cap 電容式測微儀是毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器。測微儀包括電感測微儀、電容測微儀、激光測微儀三種類型,主要用于高精度測量長度、厚度、深度、錐度等應用。

更新日期:2026-07-21

E01.Cap 電容式測微儀的詳細資料:


E01.Cap 電容式測微儀是毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器。測微儀包括電感測微儀、電容測微儀、激光測微儀三種類型,主要用于高精度測量長度、厚度、深度、錐度等應用。

原理

它基于一個理想的平行板電容器原理,傳感器與相對面被測目 標形成的兩個電極,采用保護環電容器原理,用于測量任何金屬 時,傳感器仍是線性的。


E01.Cap 電容式測微儀技術參數

型號

E09.Cap

單位

量程范圍

0~200

μm

線性度

±0.1

μm

靜態分辨率

2.5

nm

動態分辨率(1kHz)

100

nm

傳感器直徑

10

mm

小目標直徑

10

mm

靜態重復性

5

nm

信號溫度穩定性

< 0.005

%FSO/℃

長期穩定性

< 0.04

%FSO/ 月

帶寬

2

kHz(-3dB)

工作溫度范圍

+10~+50

環境濕度

<85

%

電壓輸出范圍

0~+10

V

供電電壓

220VAC 50Hz±10%


傳感器線長

1.6

m

板卡尺寸:長×高× 深

35×130×180

mm

機箱尺寸:長×高× 深

280×170×360

mm


特性:

• 模塊化設計、自由組拼

• 可提供單個板卡模塊

• 高分辨率 • 模擬輸出

• 非接觸式測量


應用:

• Z向水準測量 •  X, Y向定位

• 軸向振動測量

• 熱膨脹測量 • 位移臺傳感器



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